Wolfraam zware legering (WHA) componenten voor ionenimplantatie
Over het algemeen zijn wolfraam en molybdeen cruciale materialen voor componenten die worden gebruikt in ionenimplantatiesystemen, vooral binnen het bundelpad. Deze materialen zijn geselecteerd vanwege hun vermogen om de zware omstandigheden van ionenimplantatie te weerstaan, waaronder hoge temperaturen, sterke magnetische velden en agressieve procesgassen.
Waarom wolfraam en molybdeen?
Hoge smeltpunten:
Zowel wolfraam als molybdeen hebben zeer hoge smeltpunten, waardoor ze de extreme temperaturen kunnen verdragen die ontstaan tijdens ionenimplantatie.
Corrosiebestendigheid:
Ze vertonen een uitstekende corrosieweerstand, wat van vitaal belang is bij blootstelling aan de reactieve gassen en bijproducten van het ionenimplantatieproces.
Hoge sterkte en thermische geleidbaarheid:
Deze eigenschappen zijn essentieel voor het behouden van de structurele integriteit van componenten en het efficiënt afvoeren van warmte tijdens bedrijf.
Hoge zuiverheid:
Materialen met een hoge zuiverheid minimaliseren de verontreiniging van de ionenbundel en het geïmplanteerde materiaal.
Typische ionenimplantatiecomponenten gemaakt van wolfraam en molybdeen:
Kamers:
De vacuümkamers waarin de ionenbron en het doelgebied zijn ondergebracht, zijn vaak gemaakt van wolfraam, molybdeen of hun legeringen.
Filamenten:
In ionenbronnen worden filamenten gemaakt van wolfraam of wolfraamlegeringen gebruikt om het plasma te genereren waaruit ionen worden geëxtraheerd.
Boogspleten:
Deze componenten helpen bij het vormen en richten van de ionenbundel en zijn vaak gemaakt van wolfraam of molybdeen.
Houders en kathoden:
Uit deze vuurvaste metalen worden verschillende houders en kathodes binnen de ionenbron en het bundelpad vervaardigd.
Reserveonderdelen:
Wolfraam- en molybdeencomponenten worden ook gebruikt voor verschillende reserveonderdelen en vervangingen binnen de implantator.
Beamline-componenten:
Componenten binnen de bundellijn, zoals bundelbegrenzers en openingen, kunnen ook van wolfraam of molybdeen zijn gemaakt.
Voorbeelden van bedrijven die ionenimplantatiecomponenten leveren:
Wolfraam zware legeringen (WHA), met name W-Ni-Fe en W-Ni-Cu-samenstellingen, worden echter veel gebruikt in ionenimplantatiesystemen vanwege hun uitzonderlijke dichtheid, stralingsafschermende eigenschappen en thermische stabiliteit. Deze legeringen zijn ideaal voor componenten die een hoge massa, duurzaamheid en weerstand tegen ionenbombardement vereisen.
Belangrijkste eigenschappen voor ionenimplantatietoepassingen
✔ Hoge dichtheid (17-18,5 g/cm³) – Effectief voor het blokkeren van ionenverstrooiing en het verbeteren van de straalcontrole.
✔ Uitstekende stralingsafscherming – Minimaliseert de emissie van röntgenstraling en secundaire elektronen.
✔ Hoog smeltpunt en thermische stabiliteit – Bestand tegen ionenbombardementen met hoge-energie zonder vervorming.
✔ Goede bewerkbaarheid – Kan met precisie-worden bewerkt tot complexe vormen (vergeleken met puur wolfraam).
✔ Lage uitgassing – Cruciaal voor het handhaven van hoge vacuümomstandigheden in ionenimplanteerders.
Gemeenschappelijke WHA-componenten bij ionenimplantatie
Beam Stoppers & Apertures – Bestuurt en vormt ionenbundels.
Faraday Cups – Meet nauwkeurig de ionenbundelstroom.
Afschermingsblokken en collimators – Vermindert ongewenste ionenverstrooiing.
Wafer Handling Components – Duurzame onderdelen voor halfgeleiderverwerking.
Isolatiecomponenten – Hoge diëlektrische sterkte waar nodig.
Waarom kiezen voor WHA boven puur wolfraam?
Betere bewerkbaarheid (door Ni/Fe/Cu-bindmiddelfase).
Hogere breuktaaiheid (minder bros dan pure W).
Kosteneffectief-voor complexe geometrieën.
Beschikbare kwaliteiten en maatwerk
Standaardkwaliteiten: W90NiFe, W93NiFe, W95NiFe, W97NiFe
Aangepaste composities en afmetingen (staven, platen, machinaal bewerkte onderdelen)
Oppervlakteafwerkingen: gepolijst, geslepen of gecoat voor betere prestaties.
Neem bij eventuele vragen contact met ons op: info@yitechtrading.com