Sputterdoelen kunnen worden onderverdeeld in vlakke doelen en roterende doelen, afhankelijk van hun vormen. Planaire doelen zijn lange doelen, vierkante doelen of ronde doelen met een bepaalde dikte, enz., die worden gemaakt door een doelplano en een achterplaat te binden. Tijdens het sputteren zijn het onbewerkte doel en het substraat evenwijdig aan elkaar, en wordt er een elektromagnetisch veld gevormd tussen het onbewerkte doel en het substraat. Roterende doelen zijn buisvormige doelen en tijdens het sputteren wordt een elektromagnetisch veld naar het substraat gevormd. Planaire doelen zijn veelzijdiger, maar hebben een lagere bezettingsgraad; roterende doelen hebben een hogere bezettingsgraad, maar een slechte coatinguniformiteit.
Voordelen van roterende doelen
1. Roterende doelen hebben een hoger materiaalgebruik
Roterende doelen kunnen het doeloppervlak tijdens rotatie gelijkmatig in beslag nemen, waardoor het materiaalgebruik van het doel wordt verbeterd, dat gewoonlijk 70% -90% kan bereiken. Omdat echter slechts één vaste zijde van het vlakke doel betrokken is bij het sputteren, zullen er tijdens gebruik "groeven" of "putten" worden gevormd, wat resulteert in een ongelijkmatig materiaalverbruik, en de materiaalbenuttingsgraad bedraagt in het algemeen 30%-40%. Voor dure doelen (zoals edelmetalen of zeldzame aardmetalen) kunnen roterende doelen de kosten aanzienlijk verlagen en de economische voordelen verbeteren.
2. Roterende doelen hebben een betere sputteruniformiteit
Roterende doelen roteren continu tijdens bedrijf, zodat elke positie op het doeloppervlak gelijkmatig wordt blootgesteld aan het plasma, waardoor een uniformere sputtersnelheid ontstaat. Dit heeft duidelijke voordelen voor toepassingen met hoge eisen aan filmuniformiteit (zoals displays en halfgeleiderprocessen). Planaire doelen zijn gevoelig voor ongelijkmatige filmdikte als gevolg van plaatselijk over- sputteren, vooral bij grote- substraten of continue productie.
3. Roterende doelen hebben een langere levensduur
Omdat roterende doelen uniformer materiaal verbruiken, is hun levensduur doorgaans langer dan die van vlakke doelen. Dit betekent dat onder dezelfde werkomstandigheden de vervangingsfrequentie van het roterende doel lager is, waardoor de uitvaltijd van apparatuur wordt verminderd en de productie-efficiëntie wordt verbeterd. Voor sommige continue productieprocessen, zoals het coaten van grote- oppervlakken en het coaten van rollen- naar- rollen, kan het roterende doel de productiecyclus aanzienlijk verlengen en de onderhoudskosten verlagen.
4. Roterende doelen hebben een hogere filmkwaliteit
De filmlaag die door het roterende doel wordt gesputterd, is dichter en uniformer, wat geschikt is voor sommige toepassingen met extreem hoge eisen aan filmkwaliteit (zoals hoogwaardige- elektronische apparaten en de productie van halfgeleiderapparaten). Dit komt omdat het roterende doel effectief de defecten kan verminderen die worden veroorzaakt door ongelijkmatig sputteren op het doeloppervlak en de kwaliteit en consistentie van de filmlaag kan verbeteren.
Conclusie
Vergeleken met vlakke doelen hebben roterende doelen een hoger materiaalgebruik, een langere levensduur, een uniformer sputtereffect en aanpassingsvermogen aan productie op grote- gebieden en grote- volumes. Dit maakt roterende doelen een belangrijke keuze op het gebied van moderne dunne-filmdepositie, vooral bij het coaten van grote- oppervlakken, continue productie en hoogwaardige- productie van elektronische apparaten.