Sputterdoelen van nikkel-kobalt-ijzerlegeringen bevatten specifieke hoeveelheden nikkel (Ni), kobalt (Co) en ijzer (Fe). Van deze legeringen worden vlakke of roterende sputterdoelen gemaakt en gebruikt in de halfgeleider-, fotovoltaïsche, precisie-optica- en functionele coatingindustrieën. De bereiding van deze legeringen is specifiek en vereist aandacht voor detail om een uniforme chemische samenstelling, vaste-dichtheid, uniforme granulatie en kwaliteit van de oppervlakken te bereiken.
Bereidingsmethode voor sputterdoelen van nikkel-kobalt-ijzerlegering
Smelten van grondstoffen: De nikkel-, kobalt- en ijzerblokken met een hoge zuiverheid worden geproportioneerd en in de vacuüm-inductiesmeltoven geplaatst. De materialen worden onder vacuüm verwarmd totdat ze allemaal volledig gesmolten zijn en geroerd om segregatie van de samenstelling te voorkomen.
Gieten en vormen: Een gesmolten nikkel-kobalt-ijzerlegering wordt in een grafietvorm gegoten en afgeschrikt om een legeringsstaaf te verkrijgen en de vorming van grove korrels te voorkomen.
Smeden en walsen: De legeringen worden onderworpen aan smeed- en warmwalsprocessen bij hoge- temperaturen om de gietstructuur af te breken.
Bewerken en verbinden: het materiaal van de nikkel{0}}kobalt-ijzerlegering wordt in vorm gezaagd- en gesynthetiseerd.
Gebruik van sputterdoelen van nikkel-kobalt-ijzerlegering
Geïntegreerde schakelingen, waar het wordt gebruikt voor Cu-diffusiebarrièrelagen, Ta/CoFe dubbellaagse elektroden en vrije lagen voor magnetische tunnelovergangen (MTJ's).
Dunne-filmzonnecellen, waarbij deze dienen als achterelektrode of bufferlaag om het ohms contact en de weerbestendigheid te verbeteren.
MEMS en sensoren waar het wordt gebruikt bij de productie van inductoren met laag-verlies, magnetische afschermingslagen en micro-magnetische actuatoren.
Surface Functional Coatings waar het wordt gebruikt als slijtvaste, corrosiebestendige en decoratieve coating voor auto-onderdelen, luchtvaartbevestigingsmiddelen en biomedische implantaten.
