Koper (Cu) sputterdoel

Het koperen sputterdoel heeft dezelfde eigenschappen als het metaal koper (Cu). Koper is een chemisch element met symbool Cu (van het Latijn: cuprum) en atoomnummer 29. Het is een zacht, kneedbaar en ductiel metaal met een zeer hoge thermische en elektrische geleidbaarheid.

Aanvraag sturen

Productbeschrijving

Koperen sputterdoel heeft dezelfde eigenschappen als metaal koper (Cu). Koper is een chemisch element met het symbool Cu (van het Latijn: cuprum) en atoomnummer 29. Het is een zacht, kneedbaar en ductiel metaal met een zeer hoge thermische en elektrische geleidbaarheid. Een vers blootgesteld puur koper is roze-oranje. Koper wordt gebruikt als geleider van warmte en elektriciteit, als bouwmateriaal en als bestanddeel van verschillende metaallegeringen. Koperen sputterdoel wordt geproduceerd door smelttechnologie, het wordt veel toegepast voor halfgeleiders, decoratieve coatings en geavanceerde verpakkingsvelden.

Wij kunnen koperen sputterdoelen produceren met een zuiverheid van 99,9%~99,9999%, en het laagste zuurstofgehalte kan halfgeleiderbedrading zijn, enz. Wij produceren niet alleen vlakke koperen sputterdoelen (maximale G8.5-generatie), maar ook koperen roterende doelen, die voornamelijk worden gebruikt voor de touchscreen-industrie. Omdat het moeilijk is om de korrel te breken, kunnen we alleen verwerken met zeer grote vervorming en de groei van tweelingen beheersen om een fijne en uniforme microstructuur te bereiken, die een lagere erosiesnelheid en gevoeligheid van de vorming van deeltjes tijdens het sputteren garanderen.

Hieronder staan twee micrografieën van ons koperen sputterdoel, de gemiddelde korrelgrootte <50 μm

Specificaties koper (Cu)

materiaal type	Koper
Symbool	Ik
Atoomgewicht	63.546
Atoomnummer	29
Kleur/Uiterlijk	Koper, Metaalachtig
Warmtegeleiding	400 W/m.K
Smeltpunt (graden)	1,083
Uitzettingscoëfficiënt	16.5 x 10-6/K

Koperen sputterdoel en voorbereidingsmethode

Het koper wordt gezuiverd van 99,95% tot 99,99%, 99,999% en 99,9999% door middel van meervoudige elektrolyse en regionaal smelten. De hoogste zuiverheid in China is ongeveer 99,9999% (6N). Met koperstaven met een hoge zuiverheid als grondstoffen, kunnen smeden, walsen en warmtebehandeling van de grondstoffen ervoor zorgen dat de kristalkorrels in de koperstaven kleiner worden en de dichtheid verhogen om te voldoen aan de vereisten van koperen targets voor sputteren. Het kopermateriaal met een hoge zuiverheid wordt na de vervormingsbehandeling mechanisch verwerkt. De verwerking van koperen targets vereist een hoge precisie en een hoge oppervlaktekwaliteit en kan worden verwerkt tot de targetgrootte die vereist is door de vacuümcoatingmachine.